SI-TM508/608石英晶體膜厚監(jiān)測(cè)儀
所屬分類：
石英晶體膜厚儀
關(guān)鍵詞： SI-TM508/608石英晶體膜厚監(jiān)測(cè)儀
產(chǎn)品描述
一、產(chǎn)品特點(diǎn)
本機(jī)采用我公司專有的高速高精度頻率測(cè)量技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、高超的軟件編程技術(shù)及精湛的設(shè)計(jì)、加工與裝調(diào)水平開發(fā)與制造。引入模塊化設(shè)計(jì)理念，整機(jī)實(shí)現(xiàn)模塊組合，可為您提供最優(yōu)化的和最經(jīng)濟(jì)的產(chǎn)品。本產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于光學(xué)鍍膜機(jī)、OLED 生產(chǎn)線、半導(dǎo)體 IC 生產(chǎn)線及其它高精準(zhǔn)膜層厚度控制的鍍膜機(jī)。整機(jī)如下特點(diǎn)：
● 高速高精度測(cè)量。采用本公司特有的頻率測(cè)量技術(shù)，頻率測(cè)量分辨率為 0.002Hz（6MHz），測(cè)量速度為 10 次/S。
● 模塊式結(jié)構(gòu)。本控制儀中測(cè)量板、主控制器等實(shí)現(xiàn)模塊化設(shè)計(jì)，根據(jù)具體情況可以進(jìn)行任意組合或增減。甚至測(cè)量模塊可以實(shí)現(xiàn)高精度與普通精度模塊的混裝。
● 圖形化界面、7 吋觸屏操作。本控制儀全部采用圖形化界面，觸屏操作。具有操作便捷、顯示直觀易懂等特點(diǎn)，并可提供在線幫助。
二、產(chǎn)品規(guī)格
1、測(cè)量模塊
| 項(xiàng)目 | TM508 普通精度 型 | TM608 高精度型 | 說明 |
| 測(cè)量板輸入通道 | 每塊測(cè)量板兩個(gè)測(cè)量通道，獨(dú)立運(yùn)行控制 | 每臺(tái)監(jiān)測(cè)儀最多可安裝 4 塊測(cè)量板。普 通精度和高精度測(cè)量板可以混裝。 | |
| 頻率測(cè)量分辨率 | 0.03Hz | 0.002Hz | 當(dāng)測(cè)量頻率為 6MHz 時(shí) |
| 頻率穩(wěn)定度 | ±0.1Hz | ±0.01Hz | |
| 基準(zhǔn)源類型 | 普通石英晶振 | 恒溫石英晶振 | TM608 開機(jī)后必需預(yù)熱 15 分鐘以上，以保證測(cè)量穩(wěn)定度。 |
| 基準(zhǔn)源長(zhǎng)期穩(wěn)定度 | ±100ppm | ±1ppm | 溫度范圍：-40~85℃ |
| 測(cè)量更新速率 | 10 次/S | 單次測(cè)量時(shí)間為 0.1S | |
| 頻率測(cè)量采樣時(shí)間 | 0.1~10S | ||
| 膜厚測(cè)量精度 | 0.1? | 0.01? | 鍍膜材料：“鋁” |
| 速率測(cè)量精度 | 0.1?/S | 0.01?/S | |
| 測(cè)量準(zhǔn)確精度 | <0.5% | <0.2% | 水冷探頭，水溫變化 |
| 晶片初始頻率 | 6MHz | 直徑 14mm | |
2、顯示與操作
顯示器規(guī)格： 7 英寸 TFT 真彩液晶顯示屏
操作方式： 電容式觸摸屏
遠(yuǎn)程控制方式： RS232、RS485 通訊接口
3、其它參數(shù)
供電電壓： AC220V
消耗功率： <50W
機(jī)箱尺寸： 335x140x160mm
存儲(chǔ)溫度： -20~50℃
使用溫度： 5~35℃
環(huán)境溫度： <80%(相對(duì)溫度)不結(jié)露
海拔高度： <2000m
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