膜厚儀探頭
產品簡介：
SE300系列石英晶體膜厚探頭（簡稱：探頭），采用先進的設計技術設計，高精度數控機床加工。連接于本公司生產膜厚儀使用。具有如下獨特功能：
1) 可用于高真空環境，真空漏率小于1X10－10PaLS.
2) 氣動探頭擋板（選配件），外接氣源控制擋板開關。
3) 全新水冷結構設計，內置水道設計提高水冷能力。
4) 水管可伸縮設計，在大氣狀態可改變伸入真空室長度。
所屬分類：
石英晶體膜厚儀
關鍵詞： 膜厚儀探頭
產品描述
產品簡介
SE300系列石英晶體膜厚探頭（簡稱：探頭），采用先進的設計技術設計，高精度數控機床加工。連接于本公司生產膜厚儀使用。具有如下獨特功能：
1) 可用于高真空環境，真空漏率小于1X10－10PaLS.
2) 氣動探頭擋板（選配件），外接氣源控制擋板開關。
3) 全新水冷結構設計，內置水道設計提高水冷能力。
4) 水管可伸縮設計，在大氣狀態可改變伸入真空室長度。
技術指標
適用晶片頻率：6MHz
適用晶片尺寸：直徑：14mm
安裝法蘭規格：CF35 、M25
冷卻水管長度：300mm、500mm、1000mm
水管規格：直徑3mm
冷卻水壓：<0.3MPa
氣動擋板路管規格： 直徑3mm
壓縮空氣壓力：<0.8 MPa、>0.5 MPa
晶片類型：6MHz
使用溫度：通水狀態：<200攝氏度
不通水狀態：<100攝氏度
烘烤溫度：通水狀態：<200攝氏度
不通水狀態：<100攝氏度
電氣接口：BCN插座
石英晶體探頭選型表
| 基本型號 | SE300 | SE400 | 說明 | |
| 適用真空度 | 高真空 1.0E10-5 | 超高真空 1.0E10-8 | ||
| 密封方式 | 氟膠圈密封 | 焊接，全金屬密封 | 電極和水管的密封方式 | |
| 真空漏率 | <1.0X10-8Pa.L.S | <1.0X10-10Pa.L.S | ||
| 冷卻水管長度 | 300/500/1000mm可選，探頭長度可在非真空狀態調整 | 300/500/1000mm可選，自行焊接或提供定制長度 | 定制長度為探頭晶片中心到法蘭內表面長度 | |
| 安裝方式 | -H：水平安裝； -V：垂直安裝 | 晶片平面與冷卻水管的位置關系 | ||
| 法蘭形式 | CF35/M25可選 | CF35 | ||
探頭型說明：SE300-H-CF35-300為高真空探頭CF35法蘭、水平安裝、水管長300mm。
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