TM106E膜厚監(jiān)測儀
所屬分類：
石英晶體膜厚儀
關(guān)鍵詞： TM106E膜厚監(jiān)測儀
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品簡介
TM-106E 超小型膜厚監(jiān)測儀，采用石英晶體振蕩原理進行膜厚的在線監(jiān)測，采用先進的頻率測量技術(shù)（本公司自有知識產(chǎn)權(quán)技術(shù)），為廣大用戶研制的一款經(jīng)濟型在線膜厚監(jiān)測儀器。此儀器具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點，主要用于MBE、OLED 熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備制備薄膜過程中膜層厚度及鍍膜速率的監(jiān)測，根據(jù)實時速率可以輸出 PWM 模擬量，可做為膜厚傳感器使用，與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。
本監(jiān)測儀可與計算機連接，運行本機提供的計算機軟件進行顯示操作，或與本公司開發(fā)設(shè)計的 TM108 顯示儀配套使用，具有界面簡單、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點。可直觀顯示監(jiān)測儀所測得的膜厚、速率、頻率等，通過軟件或顯示儀可對監(jiān)測儀的門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)及通訊參數(shù)等相關(guān)參數(shù)進行設(shè)置。并可將所測得的相關(guān)數(shù)據(jù)寫入 Excel 文件。
技術(shù)指標(biāo)
電源要求：DC5V（±10%） 最大電流 400 mA
高分辨率：±0.03Hz(5-6MHz),0.0136? /測量(鋁)
最高精度：±0.5%厚度+1計數(shù)
測量速度：100 mS/次
測量范圍：500,000 ? (鋁)
標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體：6 MHz.
顯示器：連接計算機通過軟件顯示或連接顯示儀
計算機接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置，數(shù)據(jù)位：8 停止位：1 校驗：無）
通訊協(xié)議：Modbus-ASCII（默認）/ Modbus-RTU（通訊修改）
最大外形尺寸：90 x 50 x 18mm （長 x 寬 x 高）
使用溫度范圍：0-50℃室溫
濕度范圍：5%-85%RH.，不得有冷凝水珠
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